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  • 20.11.02
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[세종=뉴시스] 오종택 기자 = 정부가 2025년까지 반도체 생산 공정에 필요한 초순수(ultra pure water) 공업용수 설계를 100% 국산화한다.

홍남기 경제 부총리 겸 기획재정부 장관은 29일 정부서울청사에서 제13차 혁신성장 BIG3(시스템반도체·미래차·바이오헬스) 추진회의를 열어 이 같은 내용의 '반도체 초순수 생산 국산화 기술개발 추진방안'을 논의했다.

홍 부총리는 "반도체 산업은 타 산업에 비해 공업용수 수요가 크다"며 "이 뿐 아니라 초미세회로로 구성된 반도체 제조공정에는 불순물이 거의 포함되지 않은 초순수가 사용된다"고 설명했다.

반도체 산업은 다른 산업과 비교해 공업용수 사용량이 많고, 초순수를 사용해야 한다. 1일 사용량은 금속제조가 5만㎥, 화학이 10만㎥인데 비해 반도체는 20만㎥이다.

이에 따라 주로 외국 기술과 부품에 의존 중인 초순수 생산기술을 국산화하고, 안정적인 공업용수 확보를 위해 반도체 폐수재활용 기술개발을 민관합동으로 추진한다는 계획이다.

홍 부총리는 "우선 고순도 공업용수 생산 핵심공정 기술개발과 초순수 실증플랜트 운영 등을 통해 2025년까지 초순수 설계 100%, 시공 60%의 국산화를 추진하겠다"고 강조했다.

이어 "파운드리 등 협력업체에서 사용하는 범용성 기술은 정부 주도로 폐수재활용 연구·개발(R&D)를 추진해 반도체 폐수 재이용률을 현재 63%에서 70%까지 확대하겠다"고 말했다.
◎공감언론 뉴시스 ohjt@newsis.com


출처 : http://www.newsis.com/view?id=NISX20210729_0001530323








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