[단독]반도체에 악재?…산업부, '삼불화질소' 규제 움직임 "우려"

[세종=뉴시스]손차민 기자 = 온실가스 물질에 삼불화질소(NF₃)를 포함하는 내용의 녹색성장기본법 개정안이 국회에 발의된 가운데, 산업통상자원부가 반도체 산업에 미칠 영향이 우려스럽다는 내용의 의견서를 관계부처에 전달한 것으로 드러났다.

26일 관계 부처에 따르면 산업부는 우원식 더불어민주당 의원이 대표발의한 '기후위기 대응을 위한 탄소중립·녹색성장 기본법' 개정안과 관련해 환경부로부터 의견조회가 들어와 국내 산업계를 대변하여 의견서를 제출했다.

삼불화질소는 산업 현장에서 중요도가 높은 물질이고, 대체물질 개발이 아직 요원하다는 것을 산업부가 설명한 것으로 전해진다. 우리나라를 비롯해 대만·일본 등에서 삼불화질소를 많이 사용하는데, 법 개정이 이뤄질 경우 글로벌 경쟁력이 약화될 우려가 있을 수 있다.

삼불화질소는 반도체 등 첨단 산업에서 필수적으로 활용되는 특수가스다. 반도체를 만들 때 웨이퍼 찌꺼기나 불순물을 제거하는 데 사용되며, 디스플레이·태양전지 공정에서도 세정 가스로 많이 쓰인다.

반도체·디스플레이 산업에서 필수적으로 쓰이는 만큼 삼불화질소가 온실가스 물질에 포함될 경우 국내 주요 산업의 온실가스 배출량은 크게 높아질 수밖에 없다.

당장 대체물질이 없어 산업계에서는 당혹스러운 모양새다. 산업부는 삼불화질소를 대체할 물질을 개발하기 위해 개발 과제를 진행 중이지만 실제 산업에서 활용되기까지는 시일이 걸릴 것으로 예상된다.

산업계는 온실가스 배출량이 늘어나는 것을 부담스럽게 여기고 있다. 최근 전 세계적으로 'RE100'(사용하는 전력 100%를 재생에너지로 충당하는 자발적인 캠페인) 등 탄소중립에 대한 관심이 커지고 있기 때문이다. 삼성전자는 지난해 9월 RE100에 가입한 바 있다.

현행법상 이산화탄소를 기준으로 환산한 6개 온실가스 물질(이산화탄소, 메탄, 아산화질소, 수소불화탄소, 과불화탄소, 육불화황)의 배출총량으로 온실가스 배출량을 나타내고 있다.

하지만 유엔기후변화협약(UNFCCC)에서는 삼불화질소를 포함해 7가지 온실가스 물질을 규정하고 있다. 이에 우리나라도 UNFCCC 기준에 맞춰 삼불화질소를 포함하려는 법안 개정이 시작된 것이다.

현재는 삼불화질소가 온실가스로 포함되지 않아 배출량에 잡히지 않지만, 온실가스로 추가되면 배출량에 반영해야 한다.

문제는 아직 삼불화질소에 대한 공식적인 통계가 없고, 정확한 데이터 집계 조차 어려운 상황이라는 것이다. 산업계에서는 공정 과정 중 처리 시설을 통해 플라즈마를 파괴하는 방식으로 삼불화질소를 저감 중이다. 하지만 이 과정을 통해 얼마나 물질이 감축되는지 '저감 효율'에 대한 정확한 측정은 이뤄지지 않고 있다.

이에 정부는 정확한 데이터 값을 얻기 위해 관련 기준을 손보고 있다. 국립환경과학원은 지난 11일 온실가스 배출·감축량을 더 정확히 산정하기 위해 온실가스 공정시험 기준을 개정한 바 있다. 아산화질소, 수소불화탄소, 과불화탄소, 육불화황, 삼불화질소의 농도를 적외선흡수분광법으로 측정하는 것이 골자다.

산업부 관계자는 "대체 물질과 관련해선 현재 개발 과제가 진행 중"이라며 "아직 논의가 시작되는 단계라 전반적으로 들여다보는 중"이라고 밝혔다.

◎공감언론 뉴시스 charming@newsis.com